Inline Sputtering System
-
Inline sustav magnetronskog raspršivanja
Inline Magnetron Sputtering sustav je vrsta vakuumske opreme za taloženje tankog filma koja radi u različite svrhe.Najčešće primjene naše linije za prskanje uključuju:
Izrada aluminijskih ogledala
- ITO premaz za staklo
- Antirefleksno staklo
- Dekorativni premazi za nehrđajući čelik i staklo
Ovaj sustav premazivanja prikladan je za visokokvalitetne primjene vakuumskog premazivanja.Proizvodi stabilne radne performanse za poboljšanje kvalitete filmova za vakuumsko oblaganje.
-
ITO linija za nanošenje staklenog magnetronskog raspršivanja
ITO linija za nanošenje magnetronskog raspršivanja stakla usvaja tehnologiju vakuumskog magnetronskog raspršivanja i tehnologiju neuravnoteženog magnetronskog raspršivanja za premazivanje visokokvalitetnog float stakla slojem SO2/ITO.Na temelju međunarodnog naprednog sustava upravljanja.Cijeli proces proizvodnje radi automatski i kontinuirano.
-
Linija za magnetronsko raspršivanje s aluminijskim zrcalom
Linija za magnetronsko raspršivanje aluminijskih zrcala dizajnirana je za visok učinak u svrhu proizvodnje staklenih zrcala.Kako bismo premazali veće staklo i vodili brigu o lomljivoj staklenoj ploči, posebno za ploče velikih dimenzija, obično izrađujemo horizontalni tip linije za raspršivanje.To je kontinuirana magnetronska linija za presvlačenje, s prednjom i stražnjom grubom pumpnom komorom, a nakon prijelazne komore, prije i poslije fine pumpne komore, međuspremničkom komorom, prostorijom za nanošenje u boji.
Ciljni dizajn: cilindrične magnetronske raspršujuće katode ili/i planarne katode.
Izvor napajanja: napajanje s DC ili MF magnetronskim raspršivanjem velike snage
Pogonski sustav: pogon na valjke, frekvencijski podesiv, indukcijski sustav otvaranja sobnih vrata.
Vakuumski sustav: difuzijska pumpa (ili turbo molekularna pumpa) + korijenska pumpa + mehanička pumpa
