Glavne značajke ARC-500 su brza vremena ciklusa, jednostavan rad i lakoća korištenja po povoljnoj cijeni.Ima četiri visokoučinkovite katode za isparavanje s katodnim lukom.To je idealan izbor za kupce koji žele ući u svijet premaza ili žele dodati brzi PVD sustav male količine svojoj floti strojeva.
Primijenjene tehnologije:
Katode za isparavanje s katodnim lukom
Prednosti:
Visoka ciljna iskorištenost
Visoka stopa taloženja
Brza izmjena katode
• Ukupna struktura: Vertikalna prednja vrata, vodoravna prednja vrata, stražnji sustav vakuumske pumpe
• Materijali: Šupljina je izrađena od visokokvalitetnog nehrđajućeg čelika SUS304
• Izvor ionskog luka: Opremljen s više kompleta napajanja lukom prema veličini opreme
• Bias napajanje: Opremljen jednostupanjskim pulsnim bias napajanjem velike snage
• Višelučne mete: Standardno više setova meta od titana ili nehrđajućeg čelika
• Rotirajući sustav: regulacija brzine promjenjive frekvencije, kombinacija okretaja i rotacije, gornji prijenos ili donji prijenos.
• Vakuumski sustav (oprema za dekorativni premaz): Difuzijska pumpa (opcijska molekularna pumpa) + Roots pumpa + mehanička pumpa
• Kontrola plina: Višesmjerni sustav kontrole masenog protoka plina
• Sustav grijanja: dekorativni premaz 150 ℃ kontrola temperature PID podesiv i kontroliran
• Inteligentna kontrola: PLC inteligentna kontrola + HMI dodirno sučelje u punoj boji, za postizanje potpuno automatske logičke kontrole
• Alarm i zaštita: Alarm u nenormalnim uvjetima i provedba odgovarajućih mjera zaštite.
Maks.nosivost: 100kg
4 - 6 serija/dan
MODULARNI KARUSEL SUSTAVI:
Dvostruki rotacijski kicker karusel ili sustav mjenjača s tri rotacije
SOFTVER:
Jednostavno korištenje i održavanje
Kontrolni sustav sa zaslonom osjetljivim na dodir
Snimanje podataka i prikaz procesnih parametara i protoka u stvarnom vremenu
Ručna i automatska kontrola procesa
DIMENZIJE STROJA:
Otisak [mm]: D2300 x Š1600 x V1950