-Jedna/dvoja vrata
Okvir i komora izrađeni su od ugljičnog nehrđajućeg čelika.
Svaka vrata imaju prozor za pregled za vizualnu kontrolu procesa.Stijenke vrata imaju oblogu od nehrđajućeg čelika koja se lako uklanja radi održavanja.
- Prilagođena vakuumska komora
Komora omogućuje lako uklanjanje unutarnjih obloga od nehrđajućeg čelika radi čišćenja.
Pumpe stoje na njegovom stražnjem dijelu.
Komora ima niz malih prirubnica za potrebe mjerenja.
- Sustav pumpanja visokog vakuuma
Difuzijska pumpa+Pojačivač tlaka+Mehanička pumpa
-Mjerenje i kontrola vakuuma
S metalnim Pirani mjeračem + metalnim ionizacijskim mjeračem
-Sustav za pomicanje učvršćenja
-PLC upravljačka jedinica
-Aluminijski sustav isparavanja s transformatorom velike snage
- Željezni okvir
Struktura je razumna
Sloj filma je jednoličan
Kvaliteta stvaranja filma
Velika brzina pumpanja, kratak radni ciklus i visoka učinkovitost proizvodnje
Rad je prikladan
Niska potrošnja energije i stabilne performanse
Broj modela | EV-1000 | EV-1200 | EV-1400 | EV-1800 | EV-2000 | Dostupni su model s dvoja vrata ili s dvije komore | |
Dimenzija vakuumske komore (promjer*visina) | 1000*1100 | 1200*1400 | 1400*1600 | 1800*2000 | 2000*2200 | ||
Materijal vakuumske komore | Ugljični čelik, SUS304 ili SUS316L | ||||||
Tehnologija rada | isparavanje otporno na vakuum s volframovim i aluminijskim filamentima, transformator isparavanja velike snage | ||||||
Pumpni sustav | Difuzijska pumpa+mehaničke pumpe, pumpa za povišenje tlaka | ||||||
Vrijeme pumpanja | Od atmosfere do 5,0*10-2Pa manje od 8 minuta | ||||||
Granica vakuuma | 5,0*10-4 Pa | ||||||
Radna temperatura | Sobna temperatura | ||||||
Način rada | Automatski ili ručni način rada, 10,4 inčni PLC dodirni zaslon | ||||||
Ukupna snaga | 40-80kW | 70-140kW | |||||
Otisak stopala | 2*2 metra | 2*3 metra | 3*3 metra | 3*3 metra | 3*4 metra | 4*5 metara | 5*6 metara |
Ove jedinice možete izraditi po narudžbi | 1. Veličina vakuumske komore 2. Konfiguracije crpki | ||||||
Izborni instrumenti | 1. Detektor curenja 3. Sustav taloženja iona u luku 4. Sustav magntronskog raspršivanja |